大型ディスプレイ製造ラインでは、 「生産性が高く、巨大投資に見合う利益を生み出す工場
」は必須条件です。 そのためには、ワークの滞留を最少化にし、ショートTACTを実現する必要があります。
そして、「 歩留まりを限りなく100%に近づけること
」 これが重要なのです。
は、インラインで高速・高精細な全数検査、全数レビューが可能です。
この
は、従来の独自開発による大規模画像処理用コンピュータシステムの処理速度を一挙に2倍に速めました。
従来7,500画素だった分解能を50%以上上げ、12,000画素を実現しています。
しかも取り込み速度を3倍以上の1秒間に30,000ラインという超高速性能のカメラを実現しました。
はCCDラインセンサーからの画像信号を300GB取り込むことができます。
50万画素x60万画素で3,000億画素になります。デジカメは数百万画素ですから、およそ10万倍。
その中に潜む1画素以下の欠陥をサブピクセル処理により見つけ出し、しかも、1分以内に実行することができます。
は、幅広い検査に同一方式で対応することができます。
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ガラス検査 |
異物検査 |
表面傷検査 |
ピンホール検査 |
生膜後検査 |
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TFT検査 |
画素&回路パターン検査 |
周辺回路パターン検査 |
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カラーフィルタ検査 |
Black Matrix
パターン検査 |
突起欠陥検査 |
スペーサ欠陥検査 |
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後工程検査 |
配向膜欠陥検査 |
シール欠陥検査 |
エッジ不良検査 |
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ODF前検査 |
異物検査、除去装置 |
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