IMSは統合型インライン・モニタ装置です。
これは、次世代の巨大な装置群が並ぶラインの中に空間効率の良いインライン検査/監視機能を組み込めるように機能統合した新世代の装置で、例えば、現像工程直後のモニタ箇所でミクロ検査、マクロ検査、そして線幅測定、さらにカメラによるレビューを一つの装置で行うものです。これらの多様な検査を別々の装置で個別に検査するより設置スペースも小さく、情報の即時利用や各種データのとりまとめなどが効率よく行えるのが特徴です。このIMS
を重要な工程直後に多数インライン配置することにより、インライン検査/監視ゾーンを実現することが出来ます。
Defect-Free Lineのワークフロー制御ゾーンを実現するためには、ワーク全数について全てのパターン欠陥を検出しそれらの欠陥を個別に把握する必要があります。それを実現するための装置がAOI／レビューシステムです。
この装置では、１台の検査装置に対し、画像処理ユニットを２台搭載し、画像処理と一つ前の基板のレビューを同時並行処理するデュアルプロセステクノロジーにより、大幅に処理時間を短縮し、スペースも削減することが可能です。
これにより、以下のことが実現できます。
数台設置による要求タクトタイムの実現
ワークの全数高速レビュー
連続発生欠陥の即時検出
最小の設置面積
画像による遠隔判定（リペア/Ｇ/ＮＧ）
レビュー光学系にリペア用のレーザを組み込むことによりコンパクトで操作効率の高いリペア装置を実現しました。
検査結果ファイルを選択し、属性を選択します。検査結果間の論理演算を指定すると複数の検査項目を複合した条件に合致する欠陥箇所をターゲットとした自動レビューが開始されます。レビュー画像は装置内に整理・蓄積され、それらをサムネイル画像でブラウジングすることが出来るようになります。
ブラウザで選択した場所をリアルタイムで観察し、リペア箇所を最終決定し、レーザーでリペアを行い、リペア結果を画像で直接確認し、その画像をリペア結果と共に保存します。
