検査装置をばらばらに配置するのではなく、
それらをネットワークで一元管理して、リアルタイムでライン内の全ワークの状態を画像とデータで総合的かつ継続的に監視し、ラインの運用状態を最適に維持するシステムです。
単体のOpticsは、ワークの状態をリアルタイムに画像で監視できる、全く新しい
ワークモニタリングシステムです。
これを複数配置することにより工程間の歩留り管理､稼働率把握が正確になると同時に、単純なOK・NG判定による処理とは異なり、加工製品の良否限度をリアルタイムに制御できます。
また、他の測定機・検査装置の情報を一元管理することもできるので、より正確な工程監視が行えます。検査結果は、欠陥マップ表示、欠陥マップセレクト
（欠陥マップを自由に切替え可能）、工程別欠陥の相関処理等を実行します。
＜LOOCSを導入した例 ＞
下図の水色の部分がOpticsインライン検査装置です。現像やエッチング等の何かプロセスを行った後には、必ずOpticsの装置で検査をしています。その情報がLOOCSの中で一元化され、リアルタイムにモニターし、ライン全体を把握できるようになっています。
一台だけの検査装置では、そのプロセスで発生した欠陥かどうかは分かりません。前後の相関関係を知ることで初めて、そこで発生した欠陥かどうか判断できるのです。
製造工程の様々なポイントで、同じ方式で観察・検査・報告ができます
製造工程全域に配置可能なほど低コストの検査ステーションを構成できます
製造工程の全てのポイントでタクトタイムに適合できるほど高速です
工程の状況を総合的に把握できるような、ワークの生（なま）画像、グラフ、データを総合した報告ができます
複数のステーションからの情報を互いに関連付けて提示できます
インライン検査で得られた個々のワークの処理結果に関する方法とパターン欠陥方法をLOOCSネットワークで集積し、それらを関連づけて各ワークに対するリペアの必要性とリペアの方法を判断してワークの流れを次工程またはリペアゾーンへと切替えます。
LOOCSネットワークはワークそれぞれの処理履歴や処理結果情報を、人が判断しやすい画像やグラフを伴ったデータとしてリアルタイムで表示すると同時に、前後のワークの処理状況との比較検討がしやすいように、情報整理をして表示する機能を提供しているので、Defect-Free Line を実現するために必要な情報基板を構成することができます。
