製造現場の検査機に対するニーズは、単純な不良検出装置から高品質保持、歩留まり向上のための工程管理システムへと変化してきました。当社のOptics技術は、そのユニークなワンパス画像処理方式の利点を活かして、いち早くインライン検査技術を確立しました。
■最大32GBにまで達する桁外れの画像メモリ
■検出処理能力を大幅に改善
■画像処理速度を高速化
■ミクロ・マクロ・明暗の完全自動選別
第7世代と言われる本格的な大型TVの製造ラインにおいては、さらなる歩留まり向上を実現するために、インラインでのレビュー＆リペアをネットワークで一元管理、監視する「Defect-Free-Line」を提唱しています。
「Defect-Free-Line」とは、すべてのステージで全数検査、全数レビューを行い、リペアをしてから次の工程に流す、言い換えると「欠陥を下流に流さないシステム」です。
さらには、製造工程全般にわたってすべてのワークの加工状況を個別に監視し、しかも各ワークのすべての欠陥を検出してリペアという重要な工程に十分な情報を提供するLOOCS （Line Observation & Optimization Control） システムがラインの運用状態を最適に維持します。
Defect-Free-Line
、 LOOCS についてはそれぞれのページをご覧ください。
従来の量産ラインでは補助的な役割を演じていた検査装置を、ネットワークで結ばれた検査/監視システムに高めて究極の歩留まりを追求し、また、インライン化で検査機能を製造装置に近づけ、検査結果のフィードバック経路を短くすることが生産品質を大幅に向上させています。
これまでの、「プロセスしてから検査する」方式から「検査しながらプロセスする」方式へと製造装置そのものを「賢い製造装置」に進化させる可能性も明らかになってきたと考えます。
今後は、巨大基板液晶製造のみならず、他のFPD製品の生産ラインへの展開、さらには、他の製品の高歩留まりラインへの応用を目指した開発を継続する予定です。
In-Line AOI
についてはこちらのページをご覧ください。
