Defect-Free Line

大型ＴＶ量産のための理想的製造ラインとして当社ではDefect-Free Lineを提案しています。
Defect-Free Lineとは、すべてのステージで全数検査、全数レビューをし、リペアをしてから次の工程に流すという、言い換えれば欠陥を下流に流さないシステムです。

ライン構成は大きく分けて、インライン検査/監視ゾーン、ワークフロー制御ゾーン、オフラインリペアゾーンに分かれます。

図1：大型液晶TV生産システム

インライン検査/監視ゾーンでは、プロセス欠陥を防ぐことが最重要課題となります。（図1参照：APM、ADI、AEIにはIMSが配置されています）
次世代のラインには巨大化した新しい製造装置が多数配置され、技術的に未知の問題が多発すると予想されます。これらの問題を確実に把握し早期に対処することでラインの立ち上げ期間を短縮するとともに、安定した操業を維持する必要があり、そのためにインライン検査/監視の重要度が高まります。また、巨大装置が密集配置される工場ではワークの状態を目視することすら困難になりますので、LOOCSにより画像でワークの状態を遠隔監視する機能も大変重要になります。

ワークフロー制御ゾーンでは、欠陥を下流に流さないようにせき止める、いわば「関所」のような役割をするスイッチゲートです。ここでは、3μクラスのパターン欠陥を第5世代とそれほど変わらぬタクトタイムで全数検査、全数レビューすることが要求されます。このワークフロー制御ゾーンでは、インライン検査/監視ゾーンで得られた個々のワークの処理結果に関する情報とパターン欠陥情報を集積し、それらを関連づけて各ワークに対するリペアの必要性とリペアの方法を判断してワークの流れを次工程またはリペアゾーンへと切り替えます。（図2参照）

図2：Defect-Free Line のライン制御

大型ＴＶの量産ラインでは、これまで「例外処理」と考えられていたリペア工程を正規のワークフローの一部として取り込むことが不可欠になり、このリペアゾーンの作業能率を大幅に高める必要があります。そのためには、リペアに必要な全ワークの全欠陥に関するすべての情報をリペアゾーンで直接把握出来るようにする必要があります。

次世代の巨大基板を取り扱うためには、LOOCS環境を整えるだけでは Defect-Free Line を実現することは困難です。そのため、以下の従来の検査装置を越えた新しい装置が必要になります。

・ IMS（Integrated Monitoring System） 詳細

・ AOI/ReviewSystem 詳細

・ Review/RepairSystem 詳細

クボテックではサイズの巨大化・多様化に経済的に対応する解決策としてAIM方式を採用しています。

AIMとは、Axis Independent Mechanism のことでXYZの各軸方向のサイズ・精度を互いに独立して設定し装置を構成できるという方式です。これはOpticsがワンパスで全幅の情報を一挙に獲得するというユニークな方式を持つことで実現可能になっています。
X方向（幅方向）カメラ台数により任意の幅と検出精度要求に対応します。 Y方向（流れ方向）簡単なエアフロート・ベッドとリニアモータのストロークにより任意の基板長に経済的に対応します。 Z方向（高さ方向）カメラ群のフォーカス・ライン部だけで高い精度を必要としますので、この部分に高精度エアフロート・サスペンションを採用することにより対応します。
このAIM方式により、次世代のどのような基板サイズに対しても経済的な装置を実現することが可能です。