第5世代からガラスサイズはますます巨大化し、現在では2m角を超えるところまできていますが、このような巨大基板上に作られる50インチクラスのTVの製造では、少数の欠陥が歩留まりを致命的に落とす結果となります。従って、全ワークの全ての欠陥を見逃さずリペアを施してプロセスの下流に欠陥を含むワークを流さない仕組みを作らない限り、商用に耐える大型TV製造ラインを構成することが出来ません。次世代向けの製造ラインには全く新しい生産概念が必要になります。
次世代の大型TV生産ラインにおける検査装置は、製造工程全般にわたって全てのワークの加工状況を個別に監視し、しかも各ワークの全ての欠陥を検出してリペアという重要な工程に十分な情報を提供する必要があります。そのためには、従来の検査装置の分類枠にとらわれないHybrid
Systemとでも言うべき総合的な検査・監視システムが必要になります。
大型TV量産のための理想的製造ラインとして当社ではDefect-Free
Lineを提案しています。
Defect-Free Line
とは、すべてのステージで全数検査、全数レビューをし、リペアをしてから次の工程に流すという、言い換えれば欠陥を下流に流さないシステムです。
さらに、すでに第5世代液晶製造ラインにおいて有益な実績を上げている
LOOCS(Line Observation &Optimization Control)も次世代のための理想的なラインを実現するために必要なシステムです。
LOOCS(Line
Observation &Optimization Control)
とは検査装置をばらばらに設置するのではなく、それらをネットワークで一元管理して、リアルタイムでライン内の全ワークの状態を画像とデータで総合的かつ継続的に監視し、ラインの運用状態を最適に維持するシステムです。
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