Opticsは、6種類のボードユニットを一台のコントローラに集約した柔軟な構成の検査装置ですので、
あらゆるユーザ環境に短期間で対応が可能です。
液晶パネル・アレイパターン検査装置
■液晶パネルのアレイパターニング工程での全レイアー現像後、エッチング後の全数検査に対応
□パターンの断線、ショート、膜欠陥、付着異物、シミ、ムラ欠陥の検出処理
液晶パネル・カラーフィルタ検査装置
■液晶パネルのカラーフィルタ各成膜工程の欠陥検出
□BM,RED,GREEN,BLUE,FINAL工程の画素欠陥、ピンホール、異物、ムラの検出処理
液晶パネル配向膜検査装置
■PI印刷、仮焼成後の CF/Array
基板、配向膜欠陥検出
□PIハジキ、斑点、ムラ、異物、キズの検出処理
シール検査装置
■シール塗布後シール異常検出、セル面検査の同時処理
□シールの幅異常、異物、塗布切れ、セル面キズの検出処理
プラズマディスプレイ検査装置
■大型ガラス基板上に形成された各種パターンと表面膜の検査
□レジスト、ITO、クロム、リブ、DFパターン
のパターン欠け、突起、ピンホール、断線、ショート、表面欠陥、キズ、異物、泡の検出処理
低温ポリシリコン検査装置
■TFTパターン検査
□パターンの断線、ショート、膜欠陥、付着異物、シミ、ムラの検出処理
高温ポリシリコン検査装置（12インチウェハ対応）
■TFTパターン検査
□パターンの断線、ショート、膜欠陥、付着異物、シミ、ムラの検出処理
有機ELディスプレイ検査装置
■アレイパターン検査（低コントラスト発光体アレイ検査に対応）
□パターンの断線、ショート、膜欠陥、付着異物、シミ、ムラの検出処理
FED検査装置
■画像セル欠陥検査（フラット構造/三角構造に対応）
□3次元構造欠陥、付着異物の検出
キズ検査装置
■フィルムシート、金属ロール面、プラスチック板、偏光膜シート、積層銅箔板
□キズ、異物、しわ、泡、打痕、うねり、フィッシュアイ、表面欠陥の検出
