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巨大画像の中から任意の場所を
自由に選択し、観察可能 |
ファジー回路を用いた
高速フィルタリング処理 |
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基板や欠陥のサイズに応じた台数のラインセンサーカメラで
ワーク全体の画像を保存 |
■Opticsは厳しくなる要求に即応できます
- 全て自社製なので、お客様の製品へのコストダウンを見出しやすい
- 特定の技術や素子に頼りきっていないので、その制限をうけない
- 機械には頼らず情報処理技術を利用しているので、性能向上コストを抑えやすい
- 長年にわたって確立され、蓄積されたノウハウを利用しているので対応がはやい
■幅広い検査・観察に同一方式で対応
【検査対象の例】
太陽電池、リチウムイオンバッテリー、ソーラーパネル、燃料電池、ガラス、
TFT、カラーフィルタ、PDP、有機ELなど
太陽電池検査 詳細
例 |
ガラス検査 詳細
例 |
TCO膜検査
Si膜検査
レーザースクライブ後検査 |
異物・傷・汚れ・エッジ検査
ピンホール検査
成膜後検査 |
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